일본이 수출 거부했던 ‘포토레지스트’ 천안서 생산

한·일 무역분쟁 당시 일본이 수출을 거부했던 반도체 핵심공정 소재인 ‘포트레지스트’를 외국계 기업이 생산하고 있는 것으로 확인됐다.

양승조 충남지사는 26일 포토레지스트 및 CMP패드 등 반도체 핵심소재 생산기업인 ‘듀폰코리아’의 롬엔드하스전자재료 천안공장을 방문, ‘포스트코로나’ 경제 살리기의 일환으로 도내 주요 외투기업을 찾아 애로사항을 청취, 해결책 마련을 약속했다.

미국의 글로벌 화학소재 기업 듀폰(DuPont)은 지난해 반도체 핵심 소재인 ‘극자외선(EUV)용 포토레지스트’ 생산 공장을 천안에 건설하기로 하고, 현재 생산 공장 및 설비 등에 투자를 진행 중이다. 투자 규모는 2021년까지 총 2800만 달러(약 328억원)다.

EUV용 포토레지스트는 지난해 일본이 한국으로의 수출을 통제한 3대 품목 중 하나로, 반도체 초미세 공정에 쓰이는 핵심 소재다.

이 소재는 반도체 기판(웨이퍼) 위에 패턴을 형성하는 공정에 사용되며, 파장이 짧아 미세화 공정에 적합하다. 현재 EUV 포토레지스트 시장은 JSR·신에쓰·도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계시장의 90% 이상을 점유하고 있다.  

그만큼 우리나라는 일본에 대한 의존도가 높았다.

국내에서도 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 등 다른 포토레지스트는 일부 생산이 가능하지만, 파장이 각각 248나노미터(㎚)와 198㎚로 길어 EUV용(13.5㎚)보다 미세공정에 적합하지 못한 단점이 있다.

듀폰코리아 관계자는 “그동안 충남도의 전폭적인 지원으로 듀폰코리아가 충남에 자리 잡을 수 있었다. 현재 투자 중인 EUV 포토레지스트도 다른 나라에 당초 투자예정이었으나, 도의 적극 지원으로 결국 한국 천안으로 입지를 결정했다. 향후 추가투자 시에도 도의 변함없는 지원이 필요하다”고 건의했다. 

이에 따라 양 지사는 “듀폰코리아는 천안에 3개 공장이 가동 중이고 직원이 320여명에 달하는 지역의 가장 중요한 기업 중 하나”라며 “코로나19 극복은 물론 반도체·소재·부품 관련 추가 투자 시 더욱 지원을 아끼지 않겠다”고 밝혔다.

양승조 지사는 2018년 11월과 작년 4월 미국 본사를 방문해 1억500만 달러 외자유치 MOU를 체결한 바 있다.